微電子技術(shù)是隨著集成電路，尤其是超大型規(guī)模集成電路而發(fā)展起來(lái)的一門(mén)新的技術(shù)。其主要特點(diǎn)為超精細(xì)加工，生產(chǎn)環(huán)境要求高，動(dòng)力消耗大，投資巨大，工程復(fù)雜。

　　

　　隨著生產(chǎn)工藝的不斷發(fā)展，微電子工業(yè)對(duì)環(huán)境及其配套工程的要求越來(lái)越嚴(yán)格，其產(chǎn)品的成品率和可靠性主要取決于材料的純度和制造環(huán)境的潔凈度，對(duì)潔凈空調(diào)技術(shù)的要求也越來(lái)越高。

　　

　　國(guó)祥深耕電子凈化領(lǐng)域多年，針對(duì)不同的產(chǎn)品、生產(chǎn)規(guī)模、功能分區(qū)提供多元化潔凈解決方案。

 

　　PART.01? 大型微電子凈化車(chē)間空調(diào)方案

　　集成電路(IC)、平板顯示器工廠生產(chǎn)車(chē)間龐大，空調(diào)通風(fēng)量往往幾百萬(wàn)甚至上千萬(wàn)m³/h，能耗極大。氣載化學(xué)污染物對(duì)集成電路生產(chǎn)的影響，比空氣中懸浮物要廣泛和復(fù)雜的多。因此微電子行業(yè)的潔凈空調(diào)系統(tǒng)，不光要去除顆粒污染物，還要去除化學(xué)污染物。

　　

　　1.組合式空氣處理機(jī)組

　　風(fēng)量：1000～32萬(wàn)m³/h　　

　　● 由混合、過(guò)濾、冷卻、加熱、加濕、除濕、熱回收、消毒的等空氣處理功能段組合，可實(shí)現(xiàn)對(duì)空調(diào)區(qū)域內(nèi)空氣的溫度、濕度、潔凈度的處理和控制，以實(shí)現(xiàn)空調(diào)系統(tǒng)集中送風(fēng)；　　

　　● 機(jī)組箱體采用榫頭雙柱箱體專利設(shè)計(jì)，保證機(jī)組超高強(qiáng)度、超低漏風(fēng)率；　　

　　● 國(guó)家級(jí)測(cè)試中心漏風(fēng)率報(bào)告，漏風(fēng)率僅0.03%，　　

　　● 機(jī)組配置超低漏風(fēng)且安全泄壓專利檢修門(mén)，機(jī)組冷橋因子和傳熱系數(shù)達(dá)歐標(biāo)TB1/T1要求；　　

　　● 機(jī)組以卓越的性能順利通過(guò)德國(guó)TUV測(cè)試認(rèn)證，品質(zhì)得到了國(guó)內(nèi)外廣泛認(rèn)可。

　　

　　2.干盤(pán)管

　　風(fēng)量：1000～10000 m³ /h　　

　　● 溫濕度、潔凈度獨(dú)立控制；　　

　　● 結(jié)構(gòu)精巧，性能優(yōu)越；　　

　　● 采用專利換熱鱗片，空氣阻力低；　　

　　● 每臺(tái)出廠前都經(jīng)過(guò)12~14MPa的水壓試驗(yàn)，性能穩(wěn)定可靠。

　　

　　3.磁懸浮變頻離心式冷水機(jī)組M-plus+

　　冷媒：R134a　　

　　制冷量：984.8～3517.0kW　　

　　● 由磁懸浮變頻壓縮機(jī)、經(jīng)濟(jì)器、降膜式蒸發(fā)器、強(qiáng)過(guò)冷冷凝器等部件組成，其滿載性能系數(shù)高達(dá)6.75、綜合部分負(fù)荷性能系數(shù)高達(dá)11.85，全負(fù)荷范圍內(nèi)均具有超一流的運(yùn)行能效；　　

　　● 無(wú)油運(yùn)轉(zhuǎn)，維護(hù)簡(jiǎn)單，整個(gè)生命周期內(nèi)性能無(wú)衰減；　　

　　● 運(yùn)轉(zhuǎn)安靜，僅70dB(A)左右。

　　

　　PART.02? 中小型電子凈化車(chē)間空調(diào)方案

　　印刷電路板(PCB)的生產(chǎn)、電子產(chǎn)品的裝配等凈化車(chē)間，通常規(guī)模相對(duì)較小。

　　

　　1.直流變頻直膨式空調(diào)機(jī)組

　　冷媒：R410a　　

　　制冷量：25.2~224 kW　　

　　● 空氣處理部分采用專利榫頭雙柱結(jié)構(gòu)，機(jī)組漏風(fēng)率僅為0.03%。機(jī)組采用面板直接拼裝結(jié)構(gòu)，面板內(nèi)部為高密度聚氨酯發(fā)泡，確保面板有足夠的強(qiáng)度；　　

　　● 機(jī)組內(nèi)表面光滑平整，不易積灰，無(wú)二次污染，適合凈化場(chǎng)所使用；　　

　　● 全新高壓腔直流變頻壓縮機(jī)實(shí)現(xiàn)電機(jī)的高效運(yùn)轉(zhuǎn)特別在低速、低壓比時(shí)效率更高，更節(jié)能，滿足機(jī)組的全工況運(yùn)行;冷凝風(fēng)機(jī)采用無(wú)刷直流電機(jī)，效率較普通電機(jī)高35%，同時(shí)可根據(jù)系統(tǒng)壓力變化調(diào)整轉(zhuǎn)速，保證系統(tǒng)處于最佳運(yùn)行狀態(tài)；　　

　　● 柔性渦旋壓縮機(jī)可承受一定程度液壓縮，延長(zhǎng)使用壽命；內(nèi)置浮動(dòng)渦旋盤(pán)可自動(dòng)泄壓，避免渦旋盤(pán)損壞提升了壓縮機(jī)可靠性;兩次過(guò)冷技術(shù)增加了液態(tài)冷媒過(guò)冷度，降低了管道流動(dòng)阻力，增加允許配管的長(zhǎng)度，提升了電子膨脹閥的穩(wěn)定性；　　

　　● 直流變頻技術(shù)，制冷能力根據(jù)負(fù)荷無(wú)級(jí)調(diào)節(jié)，溫濕度控制精準(zhǔn)，波動(dòng)小。

　　

　　2.滿溢式螺桿冷水機(jī)組

　　冷媒：R22/R134a　　

　　制冷量：275～3600kW（R22）　

　　245～3000kW（R134a）　

　　熱回收：83～1080kW（R22）（可選）　　

　　● 主要用來(lái)為中央空調(diào)工程和工業(yè)生產(chǎn)提供集中冷源，同時(shí)根據(jù)客戶需求可提供清潔熱水；廣泛應(yīng)用于軌道交通、賓館、飯店、學(xué)校、商場(chǎng)、辦公樓、醫(yī)院等空調(diào)場(chǎng)所，也可用于核電、塑料化工、精密儀器等工藝?yán)鋮s過(guò)程。

　　

　　3.模塊式風(fēng)冷熱泵

　　冷媒：R410a　　

　　制冷量：50.5～2096kW　　

　　● 采用最新全密閉渦旋式壓縮機(jī)，噪聲低、振動(dòng)小且能效比高；　　

　　● 模塊化設(shè)計(jì)，可分級(jí)啟動(dòng)以減少對(duì)電網(wǎng)的瞬間沖擊，節(jié)省電能；　　

　　● 每個(gè)模塊均有獨(dú)立的框架結(jié)構(gòu)，制冷系統(tǒng)和控制保護(hù)系統(tǒng)，各模塊單元以步進(jìn)方式達(dá)到空調(diào)所需的負(fù)荷容量，任何模塊單元發(fā)生故障時(shí)并不影響其他模塊單元的正常工作。

　　

　　PART.03? 常年制冷

　　電子凈化車(chē)間由于維護(hù)結(jié)構(gòu)保溫性能好，功能分區(qū)多，車(chē)間內(nèi)設(shè)備發(fā)熱量大，通常處于廠房中部的房間，即使在春秋季甚至冬季，也需要制冷降溫。

　　

　　風(fēng)冷大渦漩冷水機(jī)組

　　冷媒：R410a　　

　　制冷量：230～3680kW　　

　　● 模塊化設(shè)計(jì)，可分級(jí)啟動(dòng)以減少對(duì)電網(wǎng)的瞬間沖擊，節(jié)省電能；　　

　　● 每個(gè)模塊均有獨(dú)立的框架結(jié)構(gòu)，制冷系統(tǒng)和控制保護(hù)系統(tǒng)，各模塊單元以步進(jìn)方式達(dá)到空調(diào)所需的負(fù)荷容量，任何模塊單元發(fā)生故障時(shí)并不影響其他模塊單元的正常工作。